產品中心 石墨產品 SiC 外延機台零件 MOCVD 機台零件 Si 外延機台零件 純石墨產品 純石墨產品 純石墨產品 純石墨產品 純石墨產品 光伏與半導體熱場產品 6 吋托盤 GaN 外延機台石墨零件 SiC 外延機台石墨零件 上半月零件 下半月零件 19片 2吋 石墨基座 36片 4吋 石墨基座 41片 4吋 石墨基座 MOCVD 機台石墨基座 Si 外延機台石墨基座 單片式 - 8吋托盤 單片式 - 預熱環 多片式 - 8片 6吋 石墨基座